特種氣體控制流程系統展示圖
電子特氣管道系統是指半導體、集成電路、平板顯示、新能源、光纖、微電子等制程工藝中用到的特種制程工藝氣體的供氣系統。
系統一般由氣瓶房供氣端和潔凈室用氣端組成，氣瓶房所用到的設備有特氣柜，特氣柜，大宗氣罐和尾氣廢氣處理設備組成，潔凈室用氣端一般由VMB閥門分配箱，VMP閥門盤組成，主要作用是分配氣體到工藝設備。

電子特氣管道系統都需要安裝GDS氣體探測報警系統，GDS和供氣系統組成聯動作用。
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